作者姓名: 管理員

適用於半導體廠房及真空管路的 316 不鏽鋼閥門

半導體廠內存在著兩個截然不同的管路系統。 製程側直接接觸晶圓:超高純度氣體控制面板、腔室隔離系統,以及設備層級的控制。設施側則負責維持其他所有系統的運作:冷卻水、壓縮空氣、氮氣、去離子水、化學藥劑輸送管線,以及支援製程設備的真空泵。本指南旨在解答一個實務問題:316不鏽鋼應安裝於何處?

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